AlOx surface passivation of black silicon by spatial ALD: Stability under light soaking and damp heat exposure

Ismo T. S. Heikkinen, George Koutsourakis, Sauli Virtanen, Marko Yli-Koski, Sebastian Wood, Ville Vähänissi, Emma Salmi, Fernando A. Castro, Hele Savin

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

1 Sitaatiot (Scopus)
78 Lataukset (Pure)

Hakutulokset