ALD for binary and ternary lead oxides

Jenni Harjuoja, Matti Putkonen, Lauri Niinistö

    Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionScientificvertaisarvioitu

    AlkuperäiskieliEnglanti
    OtsikkoBaltic Conference on Atomic Layer Deposition 2006, Oslo, 19.-20.6.2006
    Sivut30
    TilaJulkaistu - 2006
    OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa

    Siteeraa tätä