ALD Applications Beyond IC Technology - Existing and Emerging Possibilities

Matti Putkonen

    Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Conference contribution › Scientific › vertaisarvioitu

    AlkuperäiskieliEnglanti
    Otsikko216th ECS meeting Vienna 2009 5-9.10.2009
    Sivutxx
    TilaJulkaistu - 2009
    OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa

    SFX-saatavuus

    Koko teksti

    Siteeraa tätä