Al2O3 Thin Films Prepared by a Combined Thermal-Plasma Atomic Layer Deposition Process at Low Temperature for Encapsulation Applications

Zhen Zhu, Saoussen Merdes, Oili M. E. Ylivaara, Kenichiro Mizohata, Mikko J. Heikkila, Hele Savin

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

6 Sitaatiot (Scopus)

Sormenjälki

Sukella tutkimusaiheisiin 'Al2O3 Thin Films Prepared by a Combined Thermal-Plasma Atomic Layer Deposition Process at Low Temperature for Encapsulation Applications'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Engineering

Physics

Material Science