Al-neal Degrades Al2O3 Passivation of Silicon Surface

Olli E. Setälä*, Toni P. Pasanen, Jennifer Ott, Ville Vähänissi, Hele Savin

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

2 Sitaatiot (Scopus)
64 Lataukset (Pure)

Hakutulokset