Advanced process technologies: Plasma, direct-write, atmospheric pressure, and roll-to-roll ALD

E. Kessels, Matti Putkonen

    Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

    57 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    Sivut907-911
    JulkaisuMRS Bulletin
    Vuosikerta36
    Numero11
    DOI - pysyväislinkit
    TilaJulkaistu - 2011
    OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Siteeraa tätä