Adhesion Testing of Atomic Layer Deposited TiO2 on Glass Substrate by the Use of Embedded SiO2 Microspheres

Jussi Lyytinen; Maria Berdova; Sami Franssila; Jari Koskinen

doi:10.1116/1.4827197

Adhesion Testing of Atomic Layer Deposited TiO2 on Glass Substrate by the Use of Embedded SiO2 Microspheres

Jussi Lyytinen
, Maria Berdova
, Sami Franssila
, Jari Koskinen

Kemian ja materiaalitieteen laitos

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

7 Sitaatiot (Scopus)

486 Lataukset (Pure)

Alkuperäiskieli	Englanti
Artikkeli	01A102
Sivut	1-5
Sivumäärä	5
Julkaisu	Journal of Vacuum Science & Technology A
Vuosikerta	32
Numero	1
DOI - pysyväislinkit	https://doi.org/10.1116/1.4827197
Tila	Julkaistu - 2014
OKM-julkaisutyyppi	A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

Tutkimusalat

adhesion
atomic layer deposition
failure analysis
microelectromechanical structures and systems (MEMS)
reliability testing methods

Pääsy asiakirjaan

10.1116/1.4827197

Lyytinen-Berdova-Franssila-Koskinen-10-1116-1-4827197Final published version, 1,71 MB

Muut tiedostot ja linkit

http://dx.doi.org/10.1116/1.4827197

OtaNano
Rissanen, A. (Manager)
Aalto-yliopisto
Laitteistot/tilat: Facility
OtaNano Nanofab
Repo, P. (Manager) & Rissanen, A. (Other)
OtaNano
Laitteistot/tilat: Facility
Raaka-aineiden tutkimusinfrastruktuuri
Karppinen, M. (Manager)
Kemian tekniikan korkeakoulu
Laitteistot/tilat: Facility

Siteeraa tätä

@article{adbc8fa4959841b0a556544195650228,

title = "Adhesion Testing of Atomic Layer Deposited TiO2 on Glass Substrate by the Use of Embedded SiO2 Microspheres",

keywords = "adhesion, atomic layer deposition, failure analysis, microelectromechanical structures and systems (MEMS), reliability testing methods, adhesion, atomic layer deposition, failure analysis, microelectromechanical structures and systems (MEMS), reliability testing methods, adhesion, atomic layer deposition, failure analysis, microelectromechanical structures and systems (MEMS), reliability testing methods",

author = "Jussi Lyytinen and Maria Berdova and Sami Franssila and Jari Koskinen",

year = "2014",

doi = "10.1116/1.4827197",

language = "English",

volume = "32",

pages = "1--5",

journal = "Journal of Vacuum Science \& Technology A",

issn = "0734-2101",

publisher = "AVS Science and Technology Society",

number = "1",

}

TY - JOUR

T1 - Adhesion Testing of Atomic Layer Deposited TiO2 on Glass Substrate by the Use of Embedded SiO2 Microspheres

AU - Lyytinen, Jussi

AU - Berdova, Maria

AU - Franssila, Sami

AU - Koskinen, Jari

PY - 2014

Y1 - 2014

KW - adhesion

KW - atomic layer deposition

KW - failure analysis

KW - microelectromechanical structures and systems (MEMS)

KW - reliability testing methods

KW - adhesion

KW - atomic layer deposition

KW - failure analysis

KW - microelectromechanical structures and systems (MEMS)

KW - reliability testing methods

KW - adhesion

KW - atomic layer deposition

KW - failure analysis

KW - microelectromechanical structures and systems (MEMS)

KW - reliability testing methods

UR - http://dx.doi.org/10.1116/1.4827197

U2 - 10.1116/1.4827197

DO - 10.1116/1.4827197

M3 - Article

SN - 0734-2101

VL - 32

SP - 1

EP - 5

JO - Journal of Vacuum Science & Technology A

JF - Journal of Vacuum Science & Technology A

IS - 1

M1 - 01A102

ER -

Adhesion Testing of Atomic Layer Deposited TiO2 on Glass Substrate by the Use of Embedded SiO2 Microspheres

Tutkimusalat

Pääsy asiakirjaan

Muut tiedostot ja linkit

Laitteet

OtaNano

OtaNano Nanofab

Raaka-aineiden tutkimusinfrastruktuuri

Siteeraa tätä