Active Post-processing method to increase the electro-mechanical coupling in microresonators

Mika Koskenvuori; P. Rantakari; J. Väisäsvaara; I. Tittonen; T. Mattila; A. Oja; V. Kaajakari; H. Seppä; H. Kattelus; J. Kiihamäki

Active Post-processing method to increase the electro-mechanical coupling in microresonators

Mika Koskenvuori, P. Rantakari, J. Väisäsvaara, I. Tittonen, T. Mattila, A. Oja, V. Kaajakari, H. Seppä, H. Kattelus, J. Kiihamäki

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Conference article in proceedings › Scientific › vertaisarvioitu

Alkuperäiskieli	Englanti
Otsikko	Eurosensors VXII, Guimarães, Portugal, September 2003
Kustantaja	University of Minho
Sivut	675-676
Tila	Julkaistu - 2003
OKM-julkaisutyyppi	A4 Artikkeli konferenssijulkaisussa

Tutkimusalat

micromechanics
rf-mems

Siteeraa tätä

@inproceedings{e2f786a9991f4528a55d0f069a28e8d6,

title = "Active Post-processing method to increase the electro-mechanical coupling in microresonators",

keywords = "micromechanics, rf-mems, micromechanics, rf-mems, micromechanics, rf-mems",

author = "Mika Koskenvuori and P. Rantakari and J. V{\"a}is{\"a}svaara and I. Tittonen and T. Mattila and A. Oja and V. Kaajakari and H. Sepp{\"a} and H. Kattelus and J. Kiiham{\"a}ki",

year = "2003",

language = "English",

pages = "675--676",

booktitle = "Eurosensors VXII, Guimar{\~a}es, Portugal, September 2003",

publisher = "University of Minho",

address = "Portugal",

}

Active Post-processing method to increase the electro-mechanical coupling in microresonators. / Koskenvuori, Mika; Rantakari, P.; Väisäsvaara, J. et al.
Eurosensors VXII, Guimarães, Portugal, September 2003. University of Minho, 2003. s. 675-676.

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Conference article in proceedings › Scientific › vertaisarvioitu

TY - GEN

T1 - Active Post-processing method to increase the electro-mechanical coupling in microresonators

AU - Koskenvuori, Mika

AU - Rantakari, P.

AU - Väisäsvaara, J.

AU - Tittonen, I.

AU - Mattila, T.

AU - Oja, A.

AU - Kaajakari, V.

AU - Seppä, H.

AU - Kattelus, H.

AU - Kiihamäki, J.

PY - 2003

Y1 - 2003

KW - micromechanics

KW - rf-mems

KW - micromechanics

KW - rf-mems

KW - micromechanics

KW - rf-mems

M3 - Conference article in proceedings

SP - 675

EP - 676

BT - Eurosensors VXII, Guimarães, Portugal, September 2003

PB - University of Minho

ER -