Achieving consistency of Young’s modulus determination from nanoscale deformation of low-k films

S. Nagao, M. Fujikane, N. Tymiak, R. Nowak

    Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

    13 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    Artikkeli106104
    Sivumäärä3
    JulkaisuJournal of Applied Physics
    Vuosikerta105
    Numero10
    DOI - pysyväislinkit
    TilaJulkaistu - 2009
    OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Siteeraa tätä