Achieving consistency of Young’s modulus determination from nanoscale deformation of low-k films

S. Nagao, M. Fujikane, N. Tymiak, R. Nowak

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

13 Sitaatiot (Scopus)

Alkuperäiskieli	Englanti
Artikkeli	106104
Sivumäärä	3
Julkaisu	Journal of Applied Physics
Vuosikerta	105
Numero	10
DOI - pysyväislinkit	https://doi.org/10.1063/1.3117526
Tila	Julkaistu - 2009
OKM-julkaisutyyppi	A1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

Pääsy asiakirjaan

@article{5d66aa3dce954ca4a253a2a2aeffa3ab,

title = "Achieving consistency of Young{\textquoteright}s modulus determination from nanoscale deformation of low-k films",

author = "S. Nagao and M. Fujikane and N. Tymiak and R. Nowak",

year = "2009",

doi = "10.1063/1.3117526",

language = "English",

volume = "105",

journal = "Journal of Applied Physics",

issn = "0021-8979",

publisher = "American Institute of Physics",

number = "10",

}

TY - JOUR

T1 - Achieving consistency of Young’s modulus determination from nanoscale deformation of low-k films

AU - Nagao, S.

AU - Fujikane, M.

AU - Tymiak, N.

AU - Nowak, R.

PY - 2009

Y1 - 2009

UR - http://scitation.aip.org/getabs/servlet/GetabsServlet?prog=normal&id=JAPIAU000105000010106104000001&idtype=cvips&gifs=yes

U2 - 10.1063/1.3117526

DO - 10.1063/1.3117526

M3 - Article

VL - 105

JO - Journal of Applied Physics

JF - Journal of Applied Physics

SN - 0021-8979

IS - 10

M1 - 106104

ER -