A High-Resolution Accelerometer With Electrostatic Damping and Improved Supply Sensitivity

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli

Tutkijat

Organisaatiot

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut1721-1730
JulkaisuIEEE Journal of Solid-State Circuits
Vuosikerta47
Numero7
TilaJulkaistu - 2012
OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Tutkimusalat

  • Accelerometers, damping, delta-sigma analog-digital conversion, force feedback, high Q, microelectromechanical systems, open-loop systems, ratiometric output, self-balancing bridge

ID: 734892