A 20 µA Front-End for Three-Axis Capacitive Microaccelerometers

Mika Kämäräinen, Mikko Saukoski, Matti Paavola, Kari Halonen

    Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionScientificvertaisarvioitu

    3 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    OtsikkoInstrumentation and Measurement Technology Conference IMTC’07. May 1-3, 2007, Varsaw, Poland
    Sivut1-5
    TilaJulkaistu - 2007
    OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa

    Tutkimusalat

    • CMOS integrated circuit
    • electrostatic forces
    • self-balancing bridge
    • three-axis capacitive microaccelerometer

    Siteeraa tätä