3D FEM modeling of thin-film composite BAW resonators

Tapani Makkonen, Antti Holappa, Juha Ellä, Martti M. Salomaa

    Tutkimustuotos: TyöpaperiWorking paperProfessional

    AlkuperäiskieliEnglanti
    JulkaisupaikkaJyväskylä
    Sivut129
    TilaJulkaistu - 2001
    OKM-julkaisutyyppiD4 Julkaistut kehitykset tai tutkimusraportit tai tutkimukset

    Julkaisusarja

    NimiThe XXXV Annual Conference of the Finnish Physical Society, March 22.-24. 2001, Jyväskylä, Finland
    KustantajaUniversity of Jyväskylä, Department of Physics

    Siteeraa tätä

    Makkonen, T., Holappa, A., Ellä, J., & Salomaa, M. M. (2001). 3D FEM modeling of thin-film composite BAW resonators. (Sivut 129). (The XXXV Annual Conference of the Finnish Physical Society, March 22.-24. 2001, Jyväskylä, Finland).