New chemistries for resource efficient semiconductor manufacturing

Karppinen, Maarit (Vastuullinen tutkija)
Philip, Anish (Projektin jäsen)
Ghiyasi, Ramin (Projektin jäsen)
Linjala, Juha (Projektin jäsen)
Israr, Fasiha (Projektin jäsen)

Kemian ja materiaalitieteen laitos

1 Article

1 tulosta

2025
Highly stable and conformal Ti-organic thin films from sustainable precursors via atomic/molecular layer deposition towards green energy applications
Philip, A., Lone, U., Partanen, O., Haimi, E. & Karppinen, M., 16 tammik. 2025, julkaisussa: Chemical Communications. 61, 5, s. 917-920 4 Sivumäärä
Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

Open access
Tiedosto
3 Lataukset (Pure)