Tutkimustuotoksia vuodessa
Tutkimustuotoksia vuodessa
Projektin yksityiskohdat
| Lyhytotsikko | Mechald (Lipsanen) |
|---|---|
| Tila | Päättynyt |
| Todellinen alku/loppupvm | 01/07/2011 → 30/06/2014 |
Yhteistyöpartnerit
- Aalto-yliopisto (johto)
- Business Finland Oy (Projektin osapuoli)
Sormenjälki
Tutustu tutkimuksen aiheisiin, joita tämä projekti koskee. Nämä merkinnät luodaan taustalla olevien stipendien/apurahojen perusteella. Yhdessä ne muodostavat ainutlaatuisen sormenjäljen.
Tutkimustuotos
- 2 Article
-
Thermomechanical properties of aluminum oxide thin films made by atomic layer deposition
Ylivaara, O. M. E., Langner, A., Ek, S., Malm, J., Julin, J., Laitinen, M., Ali, S., Sintonen, S., Lipsanen, H., Sajavaara, T. & Puurunen, R. L., 1 jouluk. 2022, julkaisussa: Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films. 40, 6, 10 Sivumäärä, 062414.Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu
Open accessTiedosto16 Lataukset (Pure) -
Comparison of mechanical properties and composition of magnetron sputter and plasma enhanced atomic layer deposition aluminum nitride films
Sippola, P., Pyymaki Perros, A., Ylivaara, O. M. E., Ronkainen, H., Julin, J., Liu, X., Sajavaara, T., Etula, J., Lipsanen, H. & Puurunen, R. L., 1 syysk. 2018, julkaisussa: Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films. 36, 5, 051508.Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu
Open accessTiedosto8 Sitaatiot (Scopus)203 Lataukset (Pure)