Hybrid metrology for thin films in energy applications

Projektin yksityiskohdat

LyhytotsikkoHyMet (EMPIR)
TilaKäynnissä
Todellinen alku/loppupvm01/06/201730/11/2021

Tutkimustuotos

  • 1 Article
  • 1 Conference article

AlOx surface passivation of black silicon by spatial ALD: Stability under light soaking and damp heat exposure

Heikkinen, I. T. S., Koutsourakis, G., Virtanen, S., Yli-Koski, M., Wood, S., Vähänissi, V., Salmi, E., Castro, F. A. & Savin, H., maaliskuuta 2020, julkaisussa : JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY A. 38, 2, 022401.

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

Open access
Tiedosto
  • 63 Lataukset (Pure)

    Stability of the surface passivation properties of atomic layer deposited aluminum oxide in damp heat conditions

    Heikkinen, I., Koutsourakis, G., Wood, S., Vähänissi, V., Castro, F. A. & Savin, H., 27 elokuuta 2019, julkaisussa : AIP CONFERENCE PROCEEDINGS. 2147, 1

    Tutkimustuotos: LehtiartikkeliConference articleScientificvertaisarvioitu

    Open access
    Tiedosto
  • 1 Sitaatiot (Scopus)
    94 Lataukset (Pure)