Traceable metrology of soft-X-ray to IR optical constants and nanofilms for advanced manufacturing

Manoocheri, Farshid (Vastuullinen tutkija)
Rastgou, Masoud (Projektin jäsen)
Danilenko, Aleksandr (Projektin jäsen)
Peltoniemi, Juha (Projektin jäsen)

Informaatio- ja tietoliikennetekniikan laitos

1 Article

1 tulosta

Suodatin

2023
Characterization of PillarHall test chip structures using a reflectometry technique
Danilenko, A., Rastgou, M., Manoocheri, F., Kinnunen, J., Korpelainen, V., Lassila, A. & Ikonen, E., syysk. 2023, julkaisussa: Measurement Science and Technology. 34, 9, 094006.
Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

Open access
Tiedosto
1 Sitaatiot (Scopus)

12 Lataukset (Pure)