Traceable metrology of soft-X-ray to IR optical constants and nanofilms for advanced manufacturing

Manoocheri, Farshid (Vastuullinen tutkija)
Danilenko, Aleksandr (Projektin jäsen)
Rastgou, Masoud (Projektin jäsen)
Peltoniemi, Juha (Projektin jäsen)

Sähkötekniikan ja automaation laitos

Akronyymi	ATMOC (EMPIR)
Tila	Päättynyt
Todellinen alku/loppupvm	01/07/2021 → 30/06/2024

1 Article

Characterization of PillarHall test chip structures using a reflectometry technique
Danilenko, A., Rastgou, M., Manoocheri, F., Kinnunen, J., Korpelainen, V., Lassila, A. & Ikonen, E., syysk. 2023, julkaisussa: Measurement Science and Technology. 34, 9, 094006.
Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

Open access
Tiedosto
1 Sitaatiot (Scopus)

52 Lataukset (Pure)