Traceable metrology of soft-X-ray to IR optical constants and nanofilms for advanced manufacturing

Yhteistyöpartnerit

• Aalto-yliopisto (johto)
• Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH (Yhteishakija)
• Carl Zeiss SMT GmbH (Yhteishakija)
• Forschungsverbund Berlin e.V. (Yhteishakija)
• Friedrich-Schiller-Universität Jena (Yhteishakija)
• Interuniversity Microelectronics Centre (Yhteishakija)
• JCMwave GmbH (Yhteishakija)
• Johannes Kepler University Linz (Yhteishakija)
• Physikalisch-Technische Bundesanstalt - National Metrology Institute (Yhteishakija)
• Technische Universität Berlin - TU Berlin (Yhteishakija)
• Delft University of Technology (Yhteishakija)
• RWTH Aachen University (Yhteishakija)
• University of Twente (Yhteishakija)
• VTT Teknologian Tutkimuskeskus VTT Oy (Yhteishakija)
• The Scientific and Technological Research Council of Türkiye (Yhteishakija)
• DFM – Danmarks Nationale Metrologiinstitut (Yhteishakija)
• Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (Yhteishakija)
• COMMISSARIAT A L ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES (Yhteishakija)
• Dutch Metrology Institute (Yhteishakija)
• National Center for Scientific Research (Yhteishakija)
• The European Association of National Metrology Institutes r.v. (Projektin osapuoli)