An integrated pilot line for micro-fabricated medical devices

Paulasto-Kröckel, Mervi (Vastuullinen tutkija)
Broas, Mikael (Projektin jäsen)
Dong, Hongqun (Projektin jäsen)
Österlund, Elmeri (Projektin jäsen)

2 Article

2 tulosta

Suodatin

2019
Mechanical properties and reliability of aluminum nitride thin films
Österlund, E., Kinnunen, J., Rontu, V., Torkkeli, A. & Paulasto-Kröckel, M., 25 tammik. 2019, julkaisussa: Journal of Alloys and Compounds. 772, s. 306-313 8 Sivumäärä
Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

Open access
Tiedosto
22 Sitaatiot (Scopus)

191 Lataukset (Pure)
2018
Atomic layer deposition of AlN from AlCl3 using NH3 and Ar/NH3 plasma
Rontu, V., Sippola, P., Broas, M., Ross, G., Lipsanen, H., Paulasto-Kröckel, M. & Franssila, S., tammik. 2018, julkaisussa: JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY A. 36, 2, 021508.
Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

Open access
Tiedosto
20 Sitaatiot (Scopus)

262 Lataukset (Pure)