Sami Franssila

Näytä Scopus-profiili

Micronova, Tietotie 3, huone 2169PL 13500

Tutkimustuotoksia vuodessa

4 tulosta

Suodatin

2017
Etching Techniques for Superhydrophobic Surface Fabrication
Franssila, S., 2017, Non-wettable Surfaces: Theory, Preparation, and Applications. 5 toim. Royal Society of Chemistry, Vuosikerta 2017-January. s. 117-144 28 Sivumäärä (RSC Soft Matter; Vuosikerta 2017-January, nro 5).
Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Chapter › Scientific › vertaisarvioitu
2015

Deep Reactive Ion Etching
Lärmer, F., Franssila, S., Sainiemi, L. & Kolari, K., 2015, Handbook of silicon based MEMS materials and technologies, 2nd edition. Franssila, S., Tilli, M., Lindroos, V., Motooka, T., Airaksinen, V.-M. & Paulasto-Krockel, M. (toim.). Lontoo: Elsevier, s. 444-469
Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Chapter › Scientific › vertaisarvioitu

40 Sitaatiot (Scopus)
MEMS lithography
Franssila, S. & Tuomikoski, S., 2015, Handbook of silicon based MEMS materials and technologies, 2nd edition. Franssila, S., Tilli, M., Lindroos, V., Motooka, T., Airaksinen, V.-M. & Paulasto-Krockel, M. (toim.). Lontoo: Elsevier, s. 333-348
Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Chapter › Scientific › vertaisarvioitu
Microfluidics and BioMEMS in silicon
Franssila, S., Davis, C., LeVasseur, M. K., Cao, Z. & Yobas, L., 2015, Handbook of silicon based MEMS materials and technologies, 2nd edition. Franssila, S., Tilli, M., Lindroos, V., Motooka, T., Airaksinen, V.-M. & Paulasto-Krockel, M. (toim.). Lontoo: Elsevier, s. 565-581
Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Chapter › Scientific › vertaisarvioitu

Sami Franssila

Tutkimustuotos

Hakutulokset

Etching Techniques for Superhydrophobic Surface Fabrication

Deep Reactive Ion Etching

MEMS lithography

Microfluidics and BioMEMS in silicon