Tutkimustuotoksia vuodessa
Tutkimustuotoksia vuodessa
Hakutulokset
-
2015
Handbook of silicon based MEMS materials and technologies
Tilli, M., Motooka, T., Airaksinen, V-M., Franssila, S., Paulasto-Kröckel, M. & Lindroos, V., 2015, 2nd edition toim. London: Elsevier. 787 SivumääräTutkimustuotos: Kirja › Book › Professional
-
2010
Introduction to Microfabrication
Franssila, S., 9 marrask. 2010, 2. toim. John Wiley & Sons. 518 SivumääräTutkimustuotos: Kirja › Book › Scientific › vertaisarvioitu
461 Sitaatiot (Scopus) -
“MEMS lithography” in Handbook of silicon based MEMS materials and technologies
Franssila, S., Tuomikoski, S., Lindroos, V., Tilli, M., Lehto, A. & Motooka, T., 2010, Amsterdam: Unknown Publisher. 636 SivumääräTutkimustuotos: Kirja › Book › Professional
-
2004
Introduction to Microfabrication
Franssila, S., 2004, Chichester, ENGLAND: John Wiley & Sons.Tutkimustuotos: Kirja › Book › Scientific › vertaisarvioitu