Riikka Puurunen

20002020

Tutkimustuotoksia vuodessa

Jos olet muokannut tietoja Puressa, ne näkyvät pian tässä.

Tutkimustuotos

Suodatin
Review Article
2019

Conformality in atomic layer deposition: Current status overview of analysis and modelling

Cremers, V., Puurunen, R. L. & Dendooven, J., 1 kesäkuuta 2019, julkaisussa : APPLIED PHYSICS REVIEWS. 6, 2, 021302.

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliReview ArticleScientificvertaisarvioitu

Open access
Tiedosto
49 Sitaatiot (Scopus)
159 Lataukset (Pure)
2017

Review Article : Recommended reading list of early publications on atomic layer deposition - Outcome of the "Virtual Project on the History of ALD: Recommended reading list of early publications on atomic layer deposition - Outcome of the "Virtual Project on the History of ALD"

Ahvenniemi, E., Akbashev, A. R., Ali, S., Bechelany, M., Berdova, M., Boyadjiev, S., Cameron, D. C., Chen, R., Chubarov, M., Cremers, V., Devi, A., Drozd, V., Elnikova, L., Gottardi, G., Grigoras, K., Hausmann, D. M., Hwang, C. S., Jen, S. H., Kallio, T., Kanervo, J. & 42 muuta, Khmelnitskiy, I., Kim, D. H., Klibanov, L., Koshtyal, Y., Krause, A. O. I., Kuhs, J., Kärkkänen, I., Kääriäinen, M. L., Kääriäinen, T., Lamagna, L., Łapicki, A. A., Leskelä, M., Lipsanen, H., Lyytinen, J., Malkov, A., Malygin, A., Mennad, A., Militzer, C., Molarius, J., Norek, M., Özgit-Akgün, Ç., Panov, M., Pedersen, H., Piallat, F., Popov, G., Puurunen, R. L., Rampelberg, G., Ras, R. H. A., Rauwel, E., Roozeboom, F., Sajavaara, T., Salami, H., Savin, H., Schneider, N., Seidel, T. E., Sundqvist, J., Suyatin, D. B., Törndahl, T., Van Ommen, J. R., Wiemer, C., Ylivaara, O. M. E. & Yurkevich, O., 1 tammikuuta 2017, julkaisussa : JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY A. 35, 1, s. 1-13 13 Sivumäärä, 010801.

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliReview ArticleScientificvertaisarvioitu

Open access
Tiedosto
34 Sitaatiot (Scopus)
916 Lataukset (Pure)
2014

A short history of atomic layer deposition: Tuomo Suntola's atomic layer epitaxy

Puurunen, R. L., 1 joulukuuta 2014, julkaisussa : Chemical Vapor Deposition. 20, 10-12, s. 332-344 13 Sivumäärä

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliReview ArticleScientificvertaisarvioitu

Open access
81 Sitaatiot (Scopus)
2013

Crystallinity of inorganic films grown by atomic layer deposition: Overview and general trends

Miikkulainen, V., Leskelä, M., Ritala, M. & Puurunen, R. L., 14 tammikuuta 2013, julkaisussa : Journal of Applied Physics. 113, 2, 021301.

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliReview ArticleScientificvertaisarvioitu

828 Sitaatiot (Scopus)
2005

Formation of metal oxide particles in atomic layer deposition during the chemisorption of metal chlorides: A review

Puurunen, R. L., helmikuuta 2005, julkaisussa : Chemical Vapor Deposition. 11, 2, s. 79-90 12 Sivumäärä

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliReview ArticleScientificvertaisarvioitu

61 Sitaatiot (Scopus)

Surface chemistry of atomic layer deposition: A case study for the trimethylaluminum/water process

Puurunen, R. L., 2005, julkaisussa : Journal of Applied Physics. 97, 12, s. 1-52 121301.

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliReview ArticleScientificvertaisarvioitu

1831 Sitaatiot (Scopus)