Tutkimustuotos

Tutkimustuotoksia vuodessa 1999 2002 2003 2004 2005 2010 2014 2018 2019 2020 2021 2022 2023 2024 2025

• 76 Article
• 18 Conference article in proceedings
• 6 Review Article
• 5 Working paper
• 10 Lisää
  • 2 Chapter
  • 2 Poster
  • 2 Comment/debate
  • 1 Entry for encyclopedia / dictionary
  • 1 Editorial
  • 1 Special issue
  • 1 Muu tuotos

Tutkimustuotoksia vuodessa

Tutkimustuotoksia vuodessa

Hakutulokset

• 2005

  Erratum: Random deposition as a growth mode in atomic layer deposition (Chemical Vapor Deposition (2004) 10 (159))

  Puurunen, R. L., toukok. 2005, julkaisussa: Chemical Vapor Deposition. 11, 5, s. 234 1 Sivumäärä

  Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Comment/debate › Scientific › vertaisarvioitu

• Reply to "Comment on 'Analysis of hydroxyl group controlled atomic layer deposition of hafnium oxide from hafnium tetrachloride and water' " [J. Appl. Phys. 95, 477 (2204)]

  Puurunen, R. L., 1 heinäk. 2005, julkaisussa: Journal of Applied Physics. 98, 1, s. 1-2 016102.

  Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Comment/debate › Scientific › vertaisarvioitu

  • Water 100%
  • Oxide 100%
  • Atomic Layer Epitaxy 100%
  • Hafnium 100%
  • Water Type 100%
  1 Sitaatiot (Scopus)