Tutkimustuotos

Tutkimustuotoksia vuodessa 1999 2002 2003 2004 2005 2010 2014 2018 2019 2020 2021 2022 2023 2024 2025

• 76 Article
• 18 Conference article in proceedings
• 6 Review Article
• 5 Working paper
• 10 Lisää
  • 2 Chapter
  • 2 Poster
  • 2 Comment/debate
  • 1 Entry for encyclopedia / dictionary
  • 1 Editorial
  • 1 Special issue
  • 1 Muu tuotos

Tutkimustuotoksia vuodessa

Tutkimustuotoksia vuodessa

Hakutulokset

• 2022

  Feature-scale conformality of atomic layer deposition from continuum to free molecular flow: how Knudsen number influences thickness profile characteristics

  Velasco Calsina, J., Gonsalves, C., Ersavas Isitman, G., Yim, J., Verkama, E., Izbassarov, D., Vuorinen, V. & Puurunen, R., 2022.

  Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Poster › Scientific

• Simulation of Conformality of ALD Growth Inside Lateral Channels: Comparison Between a Diffusion-Reaction Model and a Ballistic Model

  Velasco, J. A., Järvilehto, J., Yim, J., Gonsalves, C., Verkama, E. & Puurunen, R. L., 2022.

  Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Poster › Scientific › vertaisarvioitu