Riikka Puurunen

Tutkimustuotoksia vuodessa

Suodatin

2010
Atomic Layer Deposition in MEMS Technology
Puurunen, R. L., Kattelus, H. & Suntola, T., 2010, Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies. Elsevier, s. 433-446 14 Sivumäärä
Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Chapter › Scientific › vertaisarvioitu
21 Sitaatiot (Scopus)
Low-temperature processes for MEMS device fabrication
Kiihamäki, J., Kattelus, H., Blomberg, M., Puurunen, R., Laamanen, M., Pekko, P., Saarilahti, J., Ritala, H. & Rissanen, A., 2010, Advanced Materials and Technologies for Micro/Nano-Devices, Sensors and Actuators. s. 167-178 12 Sivumäärä (NATO Science for Peace and Security Series B: Physics and Biophysics).
Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Chapter › Scientific › vertaisarvioitu
7 Sitaatiot (Scopus)

Tutkimustuotos