Ei valokuvaa Oili Ylivaara

Näytä Scopus-profiili

Oili Ylivaara

 https://orcid.org/0000-0001-7197-9066
    20102022

    Tutkimustuotoksia vuodessa

    • 21 Article
    • 7 Conference article in proceedings
    • 2 Abstract
    • 1 Review Article
    Suodatin
    Conference article in proceedings

    Hakutulokset

    • 2022

      Optical metrology of 3D thin film conformality by LHAR chip assisted method

      Utriainen, M., Saastamoinen, K., Rekola, H., Ylivaara, O. M. E., Puurunen, R. L. & Hyttinen, P., 5 maalisk. 2022, Photonic Instrumentation Engineering IX. Busse, L. E., Soskind, Y. & Mock, P. C. (toim.). SPIE, 120080D. (Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering; Vuosikerta 12008).

      Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Conference article in proceedings › Scientific › vertaisarvioitu

      Open access
      Tiedosto
      5 Sitaatiot (Scopus)
      109 Lataukset (Pure)
    • 2017

      Biocompatible ALD barrier coatings for medical devices

      Matvejeff, M., Ek, S., Ritasalo, R., Kalliomaki, J., Jarvinen, P., Ylivaara, O. & Ostreng, E., 2017, 2017 IEEE ELECTRON DEVICES TECHNOLOGY AND MANUFACTURING CONFERENCE (EDTM). IEEE, s. 56-58 3 Sivumäärä

      Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Conference article in proceedings › Scientific › vertaisarvioitu

    • 2014

      On the Early History of ALD: Molecular Layering

      Aarik, J., Akbashev, A. R., Cameron, D., Elam, J., Elliott, S., Gottardi, G., Grigoras, K., Koshtyal, Y., Kääriäinen, M.-L., Kääriäinen, T., Malkov, A., Malygin, A., Molarius, J., Nikkola, J., Pedersen, H., Puurunen, R. L., Ras, R. H. A., Roozeboom, F., Savin, H. & Seidel, T. E. & 3 muuta, Sundqvist, J., van Ommen, J. R. & Ylivaara, O., 2014, 14th International Conference on Atomic Layer Deposition, Kyoto, Japan, June 15-18, 2014.

      Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Conference article in proceedings › Scientific › vertaisarvioitu

    • Overview of early publications on Atomic Layer Deposition

      Aarik, J., Akbashev, A. R., Cameron, D., Elam, J., Elliott, S., Gottardi, G., Grigoras, K., Koshtyal, Y., Kääriäinen, M.-L., Kääriäinen, T., Malkov, A., Malygin, A., Molarius, J., Nikkola, J., Pedersen, H., Puurunen, R. L., Ras, R. H. A., Roozeboom, F., Savin, H. & Seidel, T. E. & 3 muuta, Sundqvist, J., van Ommen, J. R. & Ylivaara, O. M. E., 2014, Technical Program & Abstracts. American Vacuum Society

      Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Conference article in proceedings › Scientific › vertaisarvioitu

    • Overview of early publications on Atomic Layer Deposition

      Aarik, J., Akbashev, A. R., Cameron, D., Elam, J., Elliott, S., Gottardi, G., Grigoras, K., Koshtyal, Y., Kääriäinen, M.-L., Kääriäinen, T., Malkov, A., Malygin, A., Molarius, J., Nikkola, J., Pedersen, H., Puurunen, R. L., Ras, R. H. A., Roozeboom, F., Savin, H. & Seidel, T. E. & 3 muuta, Sundqvist, J., van Ommen, J. R. & Ylivaara, O. M. E., 2014, 14th International Conference on Atomic Layer Deposition, Kyoto, Japan, June 15-18, 2014.

      Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Conference article in proceedings › Scientific › vertaisarvioitu

    • 2011

      Direct wafer bonding of atomic layer deposited TiO2 and Al 2O3 thin films

      Puurunen, R. L., Suni, T., Ylivaara, O., Kondo, H., Ammar, M., Ishida, T., Fujita, H., Bosseboeuf, A., Zaima, S. & Kattelus, H., 2011, 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11. s. 978-981 4 Sivumäärä 5969474

      Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Conference article in proceedings › Scientific › vertaisarvioitu

      6 Sitaatiot (Scopus)
    • 2010

      Bonding of ALD alumina for advanced SOI substrates

      Suni, T., Puurunen, R. L., Ylivaara, O., Kattelus, H., Henttinen, K., Ishida, T. & Fujita, H., 2010, Semiconductor Wafer Bonding 11: Science, Technology, and Applications - In Honor of Ulrich Gosele. 4 toim. Vuosikerta 33. s. 137-144 8 Sivumäärä

      Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Conference article in proceedings › Scientific › vertaisarvioitu

      8 Sitaatiot (Scopus)
    Viestisi lähetys onnistui.
    Viestiäsi ei lähetetty, koska tapahtui virhe.