20102019

Tutkimustuotoksia vuodessa

Jos olet muokannut tietoja Puressa, ne näkyvät pian tässä.

Henkilökohtainen profiili

Koulutus / tieteellinen pätevyys

Dipl.ins., materiaalitekniikka, Aalto-yliopisto

Myöntöpäivä: 29 maaliskuuta 2005

Sormenjälki Sukella tutkimusaiheisiin, joissa Oili Ylivaara on aktiivinen. Nämä aihemerkinnät ovat peräisin tämän henkilön teoksista. Yhdessä ne muodostavat ainutlaatuisen sormenjäljen.

  • 31 Samanlaiset profiilit

Verkko Viimeisin maatasolla toteutettu yhteistyö. Saat syvempiä lisätietoja pisteitä napsauttamalla.

Tutkimustuotos

  • 17 Article
  • 5 Conference contribution
  • 1 Review Article
  • 1 Working paper

Al2O3 Thin Films Prepared by a Combined Thermal-Plasma Atomic Layer Deposition Process at Low Temperature for Encapsulation Applications

Zhu, Z., Merdes, S., Ylivaara, O. M. E., Mizohata, K., Heikkila, M. J. & Savin, H., 30 syyskuuta 2019, julkaisussa : PHYSICA STATUS SOLIDI A: APPLICATIONS AND MATERIALS SCIENCE. 5 Sivumäärä, 1900237.

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

Intercalation of Lithium Ions from Gaseous Precursors into β-MnO2 Thin Films Deposited by Atomic Layer Deposition

Nieminen, H. E., Miikkulainen, V., Settipani, D., Simonelli, L., Hönicke, P., Zech, C., Kayser, Y., Beckhoff, B., Honkanen, A. P., Heikkilä, M. J., Mizohata, K., Meinander, K., Ylivaara, O. M. E., Huotari, S. & Ritala, M., 27 kesäkuuta 2019, julkaisussa : Journal of Physical Chemistry C. 123, 25, s. 15802-15814 13 Sivumäärä

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

Open access
  • 3 Sitaatiot (Scopus)

    Low-Temperature Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of SiO 2 Using Carbon Dioxide

    Zhu, Z., Sippola, P., Ylivaara, O. M. E., Modanese, C., Di Sabatino, M., Mizohata, K., Merdes, S., Lipsanen, H. & Savin, H., 12 helmikuuta 2019, julkaisussa : Nanoscale Research Letters. 14, 8 Sivumäärä, 55.

    Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

    Open access
    Tiedosto
  • 1 Sitaatiot (Scopus)
    147 Lataukset (Pure)

    Microelectrode Array With Transparent ALD TiN Electrodes

    Ryynanen, T., Pelkonen, A., Grigoras, K., Ylivaara, O. M. E., Hyvarinen, T., Ahopelto, J., Prunnila, M., Narkilahti, S. & Lekkala, J., 22 maaliskuuta 2019, julkaisussa : Frontiers in Neuroscience. 13, 7 Sivumäärä, 226.

    Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

    Comparison of mechanical properties and composition of magnetron sputter and plasma enhanced atomic layer deposition aluminum nitride films

    Sippola, P., Pyymaki Perros, A., Ylivaara, O. M. E., Ronkainen, H., Julin, J., Liu, X., Sajavaara, T., Etula, J., Lipsanen, H. & Puurunen, R. L., 1 syyskuuta 2018, julkaisussa : Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films. 36, 5, 051508.

    Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

    Open access
    Tiedosto
  • 2 Sitaatiot (Scopus)
    92 Lataukset (Pure)