Tutkimustuotoksia vuodessa
Tutkimustuotoksia vuodessa
Hakutulokset
-
2020
Temperature Stability of Electrode/AlScN Multilayer Systems for pMUT Process Integration
Bespalova, K., Ross, G., Paulasto-Kröckel, M., Thanniyil, A. S., Karuthedath, C., Mertin, S. & Pensala, T., 7 syysk. 2020, Proceedings of the IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS 2020. IEEE, 4 Sivumäärä 9251496. (IEEE International Ultrasonics Symposium).Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Conference contribution › Scientific › vertaisarvioitu
3 Sitaatiot (Scopus)