Tutkimustuotoksia vuodessa
Tutkimustuotoksia vuodessa
Hakutulokset
-
2023
In-Plane AlN-based Actuator: Toward a New Generation of Piezoelectric MEMS
Bespalova, K., Nieminen, T., Gabrelian, A., Ross, G. & Paulasto-Kröckel, M., elok. 2023, julkaisussa: Advanced Electronic Materials. 9, 8, 11 Sivumäärä, 2300015.Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu
Open accessTiedosto1 Sitaatiot (Scopus)12 Lataukset (Pure) -
2022
Unlocking the Potential of Piezoelectric Films Grown on Vertical Surfaces for Inertial MEMS
Gabrelian, G., Ross, G., Bespalova, K. & Paulasto-Kröckel, M., jouluk. 2022, julkaisussa: Materials Today Communications. 33, 10 Sivumäärä, 104522.Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu
Open accessTiedosto64 Lataukset (Pure) -
2021
Atomic layer deposition of AlN using atomic layer annealing - Towards high-quality AlN on vertical sidewalls
Österlund, E., Seppänen, H., Bespalova, K., Miikkulainen, V. & Paulasto-Kröckel, M., 1 toukok. 2021, julkaisussa: Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films. 39, 3, 12 Sivumäärä, 032403.Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu
Open accessTiedosto12 Sitaatiot (Scopus)75 Lataukset (Pure) -
Characterization of AlScN-Based Multilayer Systems for Piezoelectric Micromachined Ultrasound Transducer (pMUT) Fabrication
Bespalova, K., österlund, E., Ross, G., Paulasto-Kröckel, M., Sebastian, A. T., Karuthedath, C. B., Mertin, S. & Pensala, T., huhtik. 2021, julkaisussa: Journal of Microelectromechanical Systems. 30, 2, s. 290-298 9 Sivumäärä, 9354444.Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu
Open accessTiedosto11 Sitaatiot (Scopus)117 Lataukset (Pure) -
Effect of crystal structure on the Young's modulus of GaP nanowires
Alekseev, P. A., Borodin, B. R., Geydt, P., Khayrudinov, V., Bespalova, K., Kirilenko, D. A., Reznik, R. R., Nashchekin, A., Haggren, T., Lahderanta, E., Cirlin, G. E., Lipsanen, H. & Dunaevskiy, M. S., 17 syysk. 2021, julkaisussa: Nanotechnology. 32, 38, 8 Sivumäärä, 385706.Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu
Open accessTiedosto3 Sitaatiot (Scopus)22 Lataukset (Pure) -
2020
Temperature Stability of Electrode/AlScN Multilayer Systems for pMUT Process Integration
Bespalova, K., Ross, G., Paulasto-Kröckel, M., Thanniyil, A. S., Karuthedath, C., Mertin, S. & Pensala, T., 7 syysk. 2020, Proceedings of the IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS 2020. IEEE, 4 Sivumäärä 9251496. (IEEE International Ultrasonics Symposium).Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Conference contribution › Scientific › vertaisarvioitu
3 Sitaatiot (Scopus)