Ei valokuvaa Jihong Yim
20192020

Tutkimustuotoksia vuodessa

Jos olet muokannut tietoja Puressa, ne näkyvät pian tässä.

Tutkimustuotos

Conformality analysis of the archetypical Al2O3 ALD process in 3 rd generation silicon based microscopic lateral high aspect ratio test structures

Yim, J., 17 heinäkuuta 2019, (Hyväksytty/In press).

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaPosterScientific

Conformality analysis of the archetypical Al2O3 ALD process in 3-rd generation silicon based microscopic lateral high aspect ratio test structures

Yim, J., 27 kesäkuuta 2019, (Hyväksytty/In press).

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaPosterScientificvertaisarvioitu

Projektit

Aktiviteetit

  • 1 Konferenssiesitelmä