Tutkimustuotos

Tutkimustuotoksia vuodessa 2015 2016 2019 2021 2023 2024

• 7 Article
• 4 Abstract
• 1 Conference article in proceedings
• 1 Poster
• 1 Lisää
  • 1 Doctoral Thesis

Tutkimustuotoksia vuodessa

Tutkimustuotoksia vuodessa

Hakutulokset

• 2024

  Plasma-enhanced atomic layer deposition of aluminum nitride : characteristics and applications

  Julkaisun otsikon käännös: Alumiininitridin plasma-avusteinen atomikerroskasvatus : ominaisuudet ja sovelluksetSeppänen, H., 2024, Aalto University. 114 Sivumäärä

  Tutkimustuotos: Doctoral Thesis › Collection of Articles

  • Aluminum Nitride 100%
  • Film 25%
  • Annealing 16%
  • Thin Films 16%
  • Silicon 8%