Anna Rissanen

Tutkimustuotoksia vuodessa

Jos olet muokannut tietoja Puressa, ne näkyvät pian tässä.

Suodatin

Low-temperature processes for MEMS device fabrication
Kiihamäki, J., Kattelus, H., Blomberg, M., Puurunen, R., Laamanen, M., Pekko, P., Saarilahti, J., Ritala, H. & Rissanen, A., 2010, Advanced Materials and Technologies for Micro/Nano-Devices, Sensors and Actuators. s. 167-178 12 Sivumäärä (NATO Science for Peace and Security Series B: Physics and Biophysics).
Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Chapter › Scientific › vertaisarvioitu
6 Sitaatiot (Scopus)

Tutkimustuotos