19992020

Tutkimustuotoksia vuodessa

Jos olet muokannut tietoja Puressa, ne näkyvät pian tässä.

Tutkimustuotos

Suodatin
Conference contribution
2002

Atomistic simulations of surface coverage effects in anisotropic wet chemical etching of crystalline silicon

Gosálvez, M., Foster, A. & Nieminen, R., 2002, 3rd Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, Nara, Japan, June 4-6, 2002. Sato, K. (toim.). s. 37-40

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionScientificvertaisarvioitu