Suodatin
Chapter

Hakutulokset

  • 2015

    Electrostatic and RF-Properties of MEMS Structures

    Tittonen, I. & Koskenvuori, M., 1 tammikuuta 2015, Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies: Micro and Nano Technologies. 2 toim. Elsevier Inc., s. 294-312 19 Sivumäärä

    Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaChapterScientificvertaisarvioitu

    1 Sitaatiot (Scopus)
  • 2010

    Electrostatic and RF-Properties of MEMS Structures

    Tittonen, I. & Koskenvuori, M., 1 joulukuuta 2010, Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies: Micro and Nano Technologies. Elsevier Inc., s. 221-237 17 Sivumäärä

    Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaChapterScientificvertaisarvioitu

    3 Sitaatiot (Scopus)