Tutkimustuotos

Suodatin
Chapter
2015

Electrostatic and RF-Properties of MEMS Structures

Tittonen, I. & Koskenvuori, M., 1 tammikuuta 2015, Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies: Micro and Nano Technologies. 2 toim. Elsevier Inc., s. 294-312 19 Sivumäärä

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaChapterScientificvertaisarvioitu

2010

Electrostatic and RF-Properties of MEMS Structures

Tittonen, I. & Koskenvuori, M., 1 joulukuuta 2010, Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies: Micro and Nano Technologies. Elsevier Inc., s. 221-237 17 Sivumäärä

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaChapterScientificvertaisarvioitu

3 Sitaatiot (Scopus)