Tutkimustuotos

Suodatin
Chapter
2020

Black Silicon

Pasanen, T., 24 huhtikuuta 2020, Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies. 3 toim. Elsevier, s. 186-196 Part I. (Micro & Nano Technologies).

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaChapterScientificvertaisarvioitu

2015

Oxygen and Bulk Microdefects in Silicon

Savin, H. & Airaksinen, V. M., 1 tammikuuta 2015, Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies: Second Edition. Elsevier Inc., s. 421-424 4 Sivumäärä

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaChapterScientificvertaisarvioitu

2010

Oxygen and bulk microdefects in silicon

Savin, H. & Airaksinen, V-M., 2010, Handbook of silicon based MEMS materials and technologies. Burlington, MA USA; Oxford UK, s. 327-330

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaChapterScientificvertaisarvioitu