Suodatin
Chapter

Hakutulokset

  • 2020

    Black Silicon

    Pasanen, T., 24 huhtikuuta 2020, Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies. 3 toim. Elsevier, s. 186-196 Part I. (Micro & Nano Technologies).

    Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaChapterScientificvertaisarvioitu

  • 2015

    Oxygen and Bulk Microdefects in Silicon

    Savin, H. & Airaksinen, V. M., 1 tammikuuta 2015, Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies: Second Edition. Elsevier Inc., s. 421-424 4 Sivumäärä

    Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaChapterScientificvertaisarvioitu

  • 2010

    Oxygen and bulk microdefects in silicon

    Savin, H. & Airaksinen, V-M., 2010, Handbook of silicon based MEMS materials and technologies. Burlington, MA USA; Oxford UK, s. 327-330

    Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaChapterScientificvertaisarvioitu