Thin Solid Films

Tutkimustuotokset

  1. 2019
  2. Julkaistu

    Influence of titanium dioxide surface activation on the performance of mesoscopic perovskite solar cells

    Masood, M. T., Weinberger, C., Qudsia, S., Rosqvist, E., Sandberg, O. J., Nyman, M., Sandén, S., Vivo, P., Aitola, K., Lund, P. D. & 2 muuta, Österbacka, R. & Smått, J. H., 30 syyskuuta 2019, julkaisussa : Thin Solid Films. 686, s. 1-7 137418.

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  3. Julkaistu

    In-situ annealing characterization of atomic-layer-deposited Al2O3 in N2 , H2 and vacuum atmospheres

    Broas, M., Lemettinen, J., Sajavaara, T., Tilli, M., Vuorinen, V., Suihkonen, S. & Paulasto-Kröckel, M., 31 heinäkuuta 2019, julkaisussa : Thin Solid Films. 682, s. 147-155 9 Sivumäärä

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  4. Sähköinen julkaisu (e-pub) ennen painettua julkistusta

    Porosity-tuned thermal conductivity in thermoelectric Al-doped ZnO thin films grown by mist-chemical vapor deposition

    Saini, S., Mele, P., Oyake, T., Shiomi, J., Niemelä, J. P., Karppinen, M., Miyazaki, K., Li, C., Kawaharamura, T., Ichinose, A. & 1 muuta, Molina-Luna, L., 11 kesäkuuta 2019, julkaisussa : Thin Solid Films. 685, s. 180-185 6 Sivumäärä

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  5. 2017
  6. Julkaistu

    Studies on Li3AlF6 thin film deposition utilizing conversion reactions of thin films

    Mäntymäki, M., Mizohata, K., Heikkilä, M. J., Räisänen, J., Ritala, M. & Leskelä, M., 31 elokuuta 2017, julkaisussa : Thin Solid Films. 636, s. 26-33 8 Sivumäärä

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  7. Julkaistu

    Corrosion protection of steel with multilayer coatings: Improving the sealing properties of physical vapor deposition CrN coatings with Al2O3/ TiO2 atomic layer deposition nanolaminates

    Leppäniemi, J., Sippola, P., Broas, M., Aromaa, J., Lipsanen, H. & Koskinen, J., huhtikuuta 2017, julkaisussa : Thin Solid Films. 627, s. 59-68 10 Sivumäärä

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  8. 2016
  9. Julkaistu

    Synchrotron X-ray diffraction topography study of bonding-induced strain in silicon-on-insulator wafers

    Lankinen, A., Tuomi, T. O., Kostamo, P., Jussila, H., Sintonen, S., Lipsanen, H., Tilli, M., Mäkinen, J. & Danilewsky, A. N., 31 maaliskuuta 2016, julkaisussa : Thin Solid Films. 603, s. 435-440 6 Sivumäärä

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  10. 2014
  11. Julkaistu

    Thermal and plasma enhanced atomic layer deposition of SiO2 using commercial silicon precursors

    Putkonen, M., Bosund, M., Ylivaara, O. M. E., Puurunen, R., Kilpi, L., Ronkainen, H., Sintonen, S., Ali, S., Lipsanen, H., Liu, X. & 6 muuta, Haimi, E., Hannula, S-P., Sajavaara, T., Buchanan, I., Karwacki, E. & Vähä-Nissi, M., 2 toukokuuta 2014, julkaisussa : Thin Solid Films. 558, s. 93-98 6 Sivumäärä

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  12. Julkaistu

    Aluminum oxide from trimethylaluminum and water by atomic layer deposition: The temperature dependence of residual stress, elastic modulus, hardness and adhesion

    Ylivaara, O. M. E., Liu, X., Kilpi, L., Lyytinen, J., Schneider, D., Laitinen, M., Julin, J., Ali, S., Sintonen, S., Berdova, M. & 7 muuta, Haimi, E., Sajavaara, T., Ronkainen, H., Lipsanen, H., Koskinen, J., Hannula, S-P. & Puurunen, R. L., 3 helmikuuta 2014, julkaisussa : Thin Solid Films. 552, s. 124-135 12 Sivumäärä

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  13. Julkaistu

    Antibacterial and barrier properties of oriented polymer films with ZnO thin films applied with atomic layer deposition at low temperatures

    Vähä-Nissi, M., Pitkänen, M., Salo, E., Kenttä, E., Tanskanen, A., Sajavaara, T., Putkonen, M., Sievänen, J., Sneck, A., Rättö, M. & 2 muuta, Karppinen, M. & Harlin, A., 2014, julkaisussa : Thin Solid Films. 562, xx, s. 331-337

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  14. Julkaistu

    Conducting Nb-doped TiO2 thin films fabricated with an atomic layer deposition technique

    Niemela, J-P., Yamauchi, H. & Karppinen, M., 2014, julkaisussa : Thin Solid Films. 551, xx, s. 19-22

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  15. Julkaistu

    Excellent passivation and low reflectivity with atomic layer deposited bilayer coatings for n-type silicon solar cells

    Lee, B. G., Li, S., von Gastrow, G., Yli-Koski, M., Savin, H., Malinen, V., Skarp, J., Choi, S. & Branz, H. M., 2014, julkaisussa : Thin Solid Films. 550, s. 541

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  16. Julkaistu

    Three ranges of the angular dependence of critical current of BaZrO3 doped YBa2Cu3O7-(delta) thin films grown at different temperatures

    Malmivirta, M., Yao, L. D., Huhtinen, H., Palonen, H., van Dijken, S. & Paturi, P., 2014, julkaisussa : Thin Solid Films. 562, s. 554-560 7 Sivumäärä

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  17. Julkaistu

    ZnO: Hydroquinone superlattice structures fabricated by atomic/molecular layer deposition

    Tynell, T. & Karppinen, M., 2014, julkaisussa : Thin Solid Films. 551, xx, s. 23-26

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  18. 2013
  19. Julkaistu

    Room temperature ferromagnetism down to 10 nanometer Ni-Fe-Mo alloy films

    Banerjee, M., Majumdar, A. K., Rai, S., Tiwari, P., Lodha, G. S., Banerjee, A., Nair, K. G. M., Sarkar, J., Choudhary, R. J. & Phase, D. M., 31 lokakuuta 2013, julkaisussa : Thin Solid Films. 545, s. 385-390 6 Sivumäärä

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  20. Julkaistu

    Photolithographic periodic patterning of gold using azobenzene-functionalized polymers

    Kravchenko, A., Shevchenko, A., Grahn, P., Ovchinnikov, V. & Kaivola, M., 1 heinäkuuta 2013, julkaisussa : Thin Solid Films. 540, s. 162-167 6 Sivumäärä

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  21. Julkaistu

    Evaluation of critical thickness of GaP0.98N0.02 layer on GaP substrate by synchrotron X-ray diffraction topography

    Jussila, H., Subramaniyam, N., Sintonen, S., Suihkonen, S., Lankinen, A., Huhtio, T., Paulmann, C., Lipsanen, H., Tuomi, T. & Sopanen, M., 1 toukokuuta 2013, julkaisussa : Thin Solid Films. 534, s. 680-684 5 Sivumäärä

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  22. Julkaistu

    Influence of titanium-substrate roughness on Ca-P-O thin films grown by atomic layer deposition

    Sagari, A. R. A., Malm, J., Laitinen, M., Rahkila, P., Hongqiang, M., Putkonen, M., Karppinen, M., Whitlow, H. J. & Sajavaara, T., 2013, julkaisussa : Thin Solid Films. 531, xx, s. 26-31

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  23. 2012
  24. Julkaistu

    Barrier properties of Al2O3 and alucone coatings and nanolaminates on flexible biopolymer films

    Vaha-Nissi, M., Sundberg, P., Kauppi, E., Hirvikorpi, T., Sievanen, J., Sood, A., Karppinen, M. & Harlin, A., 1 syyskuuta 2012, julkaisussa : Thin Solid Films. 520, 22, s. 6780-6785 6 Sivumäärä

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  25. Julkaistu

    Thermal properties of TiO2 films grown by atomic layer deposition

    Saleem, M. R., Silfsten, P., Honkanen, S. & Turunen, J., 1 kesäkuuta 2012, julkaisussa : Thin Solid Films. 520, 16, s. 5442-5446 5 Sivumäärä

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  26. Julkaistu

    Barrier and mechanical properties of Al2O3 and alucone coatings and nanolaminates on biopolymer films

    Vähä-Nissi, M., Sundberg, P., Kauppi, E., Hirvikorpi, T., Sievänen, J., Sood, A., Karppinen, M. & Harlin, A., 2012, julkaisussa : Thin Solid Films. 520, 520, s. 6780-6785

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  27. Julkaistu

    Growth of thin Al2O3 films on biaxially oriented polymer films by atomic layer deposition

    Vähä-Nissi, M., Kauppi, E., Sahagian, K., Johansson, L-S., Peresin, M. S., Sievänen, J. & Harlin, A., 2012, julkaisussa : Thin Solid Films. 1

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  28. Julkaistu

    Textured Strontium Titanate Layers on Platinum by Atomic Layer Deposition

    Blomberg, T., Anttila, J., Haukka, S., Tuominen, M., Lukosius, M., Wenger, C. & Saukkonen, T., 2012, julkaisussa : Thin Solid Films. 520, 21, s. 65356540

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  29. 2011
  30. Julkaistu

    Comparison of dye solar cell counter electrodes based on different carbon nanostructures

    Aitola, K., Halme, J., Halonen, N., Kaskela, A., Toivola, M., Nasibulin, A. G., Kordás, K., Tóth, G., Kauppinen, E. I. & Lund, P. D., 1 syyskuuta 2011, julkaisussa : Thin Solid Films. 519, 22, s. 8125-8134 10 Sivumäärä

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  31. Julkaistu

    Optical and structural properties of nanocrystalline anatase (TiO2) thin films prepared by non-aqueous sol-gel dip-coating

    Haimi, E., Lipsonen, H., Larismaa, J., Kapulainen, M., Krzak-Ros, J. & Hannula, S-P., 1 heinäkuuta 2011, julkaisussa : Thin Solid Films. 519, 18, s. 5882-5886 5 Sivumäärä

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  32. Julkaistu

    Low-temperature atomic layer deposition of ZnO thin films: Control of crystallinity and orientation

    Malm, J., Sahramo, E., Perala, J., Sajavaara, T. & Karppinen, M., 2011, julkaisussa : Thin Solid Films. 519, 16, s. 5319-5322

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  33. 2010
  34. Julkaistu

    Diffusion of cobalt in ion-implanted ZnO

    Koskelo, O., Räisänen, J., Eversheim, D., Tuomisto, F., Grasza, K. & Mycielski, A., 3 toukokuuta 2010, julkaisussa : Thin Solid Films. 518, 14, s. 3894-3897 4 Sivumäärä

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  35. Julkaistu

    Divacancies at room temperature in germanium

    Slotte, J., Kuitunen, K., Kilpeläinen, S. H., Tuomisto, F. & Capan, I., 26 helmikuuta 2010, julkaisussa : Thin Solid Films. 518, 9, s. 2314-2316 3 Sivumäärä

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  36. Julkaistu

    Atomic layer deposited aluminum oxide barrier coatings for packaging materials

    Hirvikorpi, T., Vaha-Nissi, M., Mustonen, T., Iiskola, E. & Karppinen, M., 2010, julkaisussa : Thin Solid Films. 518, 10, s. 2654-2658

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  37. Julkaistu

    Comparison of some coating techniques to fabricate barrier layers on packaging materials

    Hirvikorpi, T., Vähä-Nissi, M., Harlin, A. & Karppinen, M., 2010, julkaisussa : Thin Solid Films. 518, 19, s. 5463-5466

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  38. Julkaistu

    Deposited dielectrics on metal thin films using silicon and glass substrates for hot electron-induced electrochemiluminescence

    Niskanen, A. J., Ylinen-Hinkka, T., Pusa, M., Kulmala, S. & Franssila, S., 2010, julkaisussa : Thin Solid Films. 519, 1, s. 430-433

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  39. 2009
  40. Julkaistu

    Effect of substrate deformation on functional properties of atomic-layer-deposited TiO2 coatings on stainless steel

    Straka, L., Kawakami, H., Romu, J., Ilola, R., Mahlberg, R., Heikkilä, M. & Hänninen, H., 1 toukokuuta 2009, julkaisussa : Thin Solid Films. 517, 13, s. 3797-3805 9 Sivumäärä

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  41. Julkaistu

    Photovoltaic fiber

    Toivola, M., Ferenets, M., Lund, P. & Harlin, A., 27 helmikuuta 2009, julkaisussa : Thin Solid Films. 517, 8, s. 2799-2802 4 Sivumäärä

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  42. Julkaistu

    Atomic layer deposition and characterization of biocompatible hydroxyapatite thin films

    Putkonen, M., Sajavaara, T., Rahkila, P., Xu, L., Cheng, S., Niinistö, L. & Whitlow, H. J., 2009, julkaisussa : Thin Solid Films. 517, s. 5819-5824

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  43. Julkaistu

    Development and Characterization of Thin Polymer Films Relevant to Fiber Processing

    Song, J., Liang, J., Liu, X., Krause, W. E., Hinestroza, J. P. & Rojas, O. J., 2009, julkaisussa : Thin Solid Films. 517, 15, s. 4348-4354

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  44. Julkaistu

    Influence of the seed layer on structural and electro-acoustic properties of sputter-deposited AlN resonators

    Riekkinen, T., Nurmela, A., Molarius, J., Pensala, T., Kostamo, P., Ylilammi, M. & van Dijken, S., 2009, julkaisussa : Thin Solid Films. 517, 24, s. 6588-6592 5 Sivumäärä

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  45. Julkaistu

    Ultrathin insulating films on silicon foe electrochemiluminescence

    Niskanen, A., Ylinen-Hinkka, T., Kulmala, S. & Franssila, S., 2009, julkaisussa : Thin Solid Films. s. 5779-5782

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  46. Julkaistu

    Ultrathin tunnel insulator films on silicon for electrochemiluminescence studies

    Niskanen, A. J., Ylinen-Hinkka, T., Kulmala, S. & Franssila, S., 2009, julkaisussa : Thin Solid Films. 517, 19, s. 5779-5782

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  47. 2008
  48. Julkaistu

    Open-circuit potential as an indicator of damage of atomic layer deposited TiO2 on AISI 304 stainless steel

    Straka, L., Yagodzinskyy, Y., Kawakami, H., Romu, J., Ilola, R. & Hänninen, H., 28 marraskuuta 2008, julkaisussa : Thin Solid Films. 517, 2, s. 641-647 7 Sivumäärä

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  49. Julkaistu

    Implantation Defects and n-type Doping in Ge and Ge rich SiGe

    Peaker, A. R., Markevich, V. P., Hamilton, B., Hawkins, I. D., Slotte, J., Kuitunen, K., Tuomisto, F., Satta, A., Simoen, E. & Abrosimov, N., 3 marraskuuta 2008, julkaisussa : Thin Solid Films. 517, 1, s. 152-154 3 Sivumäärä

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  50. Julkaistu

    Characterization and Gas-Sensing Properties of Iron Oxide Thin Films Prepared by Atomic Layer Deposition

    Aronniemi, M., Sainio, J. & Lahtinen, J., 2008, julkaisussa : Thin Solid Films. 516, s. 6110-6115

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  51. Julkaistu

    Investigation of sub-nm ALD aluminum oxide films by plasma assisted etch-through

    Grigoras, K., Franssila, S. & Airaksinen, V-M., 2008, julkaisussa : Thin Solid Films. 516

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  52. 2006
  53. Julkaistu

    Atomic layer deposition and post-deposition annealing of PbTiO3 thin films

    Harjuoja, J., Kosola, A., Putkonen, M. & Niinistö, L., 2006, julkaisussa : Thin Solid Films. 496, 2, s. 346-352

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  54. Julkaistu

    Atomic layer deposition of B2O3 thin films at room temperature

    Putkonen, M. & Niinistö, L., 2006, julkaisussa : Thin Solid Films. 514, s. 145-149

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  55. Julkaistu

    Exploiting volatile lead compounds as precursors for the atomic layer deposition of lead dioxide thin films

    Harjuoja, J., Putkonen, M. & Niinistö, L., 2006, julkaisussa : Thin Solid Films. 497, 1-2, s. 77-82

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  56. 2005
  57. Julkaistu

    A comparative study on lanthanide oxide thin films grown by atomic layer deposition

    Päiväsaari, J., Putkonen, M. & Niinistö, L., 2005, julkaisussa : Thin Solid Films. 472, 1-2, s. 275-281

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  58. Julkaistu

    Experimental studies of O2-SnO2 surface interaction using powder, thick films and monocrystalline thine films

    Saukko, S., Lassi, U., Lantto, V., Kroneld, M., Novikov, S., Kuivalainen, P., Rantala, T. T. & Mizsei, J., 2005, julkaisussa : Thin Solid Films. 490, s. 48-53

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  59. Julkaistu

    Neodymium oxide and neodymium aluminate thin films by atomic layer deposition

    Kosola, A., Päiväsaari, J., Putkonen, M. & Niinistö, L., 2005, julkaisussa : Thin Solid Films. 479, 1-2, s. 152-159

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  60. 2004
  61. Julkaistu

    Infrared reflection absorption spectroscopy study of smectite clay monolayers

    Ras, R. H. A., Németh, J., Johnston, C. T., Dékány, I. & Schoonheydt, R. A., 1 marraskuuta 2004, julkaisussa : Thin Solid Films. 466, 1-2, s. 291-294 4 Sivumäärä

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  62. Julkaistu

    Magnesium aluminate thin films by atomic layer deposition from organometallic precursors and water

    Putkonen, M., Nieminen, M. & Niinistö, L., 2004, julkaisussa : Thin Solid Films. 466, s. 103-107

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

  63. 2003
  64. Julkaistu

    Microstructural analysis of selective C/Al2O3/Al solar absorber surfaces

    Konttinen, P., Kilpi, R. & Lund, P., 3 helmikuuta 2003, julkaisussa : Thin Solid Films. 425, 1-2, s. 24-30 7 Sivumäärä, PII S0040-6090(02)01141-0.

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

Edellinen 1 2 Seuraava

ID: 407330