Journal of Micromechanics and Microengineering

Tutkimustuotokset

  1. 2019
  2. Julkaistu
  3. 2018
  4. Julkaistu
  5. 2014
  6. Julkaistu

    MME 2013 Editorial Preface

    Franssila, S. & Kolari, K., elokuuta 2014, julkaisussa : Journal of Micromechanics and Microengineering. 24, 8, 1 Sivumäärä, 080201.

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli

  7. 2013
  8. Julkaistu

    Picosecond laser ablation for silicon micro fuel cell fabrication

    Scotti, G., Trusheim, D., Kanninen, P., Naumenko, D., Shulz-Ruhtenberg, M., Snitka, V., Kallio, T. & Franssila, S., 18 huhtikuuta 2013, julkaisussa : Journal of Micromechanics and Microengineering. 23, 5, s. 1-14 14 Sivumäärä

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli

  9. Julkaistu
  10. Julkaistu

    Microfabrication of low thermal mass heated nebulizer chips for mass spectrometry

    Wirtssohn, M., Haapala, M., Sainiemi, L. & Franssila, S., 2013, julkaisussa : Journal of Micromechanics and Microengineering. s. 6

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli

  11. Julkaistu

    Micromanipulation transfer of membrane resonators for circuit optomechanics

    Berdova, M., Cho, S. U., Pirkkalainen, J-M., Sulkko, J., Song, X., Hakonen, P. J. & Sillanpää, M. A., 2013, julkaisussa : Journal of Micromechanics and Microengineering. 23, 12, 5 Sivumäärä, 125024.

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli

  12. 2012
  13. Julkaistu

    Direct laser writing and geometrical analysis of scaffolds with designed pore architecture for three-dimensional cell culturing

    Käpylä, E., Aydogan, D. B., Virjula, S., Vanhatupa, S., Miettinen, S., Hyttinen, J. & Kellomäki, M., 1 marraskuuta 2012, julkaisussa : Journal of Micromechanics and Microengineering. 22, 11, 115016.

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli

  14. Julkaistu

    Integration of carbon felt gas diffusion layers in silicon micro fuel cells

    Scotti, G., Kanninen, P., Kallio, T. & Franssila, S., 24 elokuuta 2012, julkaisussa : Journal of Micromechanics and Microengineering. 22, 9, 9 Sivumäärä, 094006.

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli

  15. 2011
  16. Julkaistu

    A single-pixel wireless contact lens display

    Lingley, A. R., Ali, M., Liao, Y., Mirjalili, R., Klonner, M., Sopanen, M., Suihkonen, S., Shen, T., Otis, B. P., Lipsanen, H. & 1 muuta, Parviz, B. A., 2011, julkaisussa : Journal of Micromechanics and Microengineering. 21, 12, s. 1-8 8 Sivumäärä, 125014.

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli

  17. Julkaistu

    Building molecular surface gradients with electron beam lithography

    Toikkanen, O., Doan, N., Erdmanis, M., Lipsanen, H., Kontturi, K. & Parviz, B., 2011, julkaisussa : Journal of Micromechanics and Microengineering. 21, 5, s. 1-5 5 Sivumäärä, 054025.

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli

  18. Julkaistu

    Porous inorganic-organic hybrid material by oxygen plasma treatment

    Aura, S., Jokinen, V., Laitinen, M., Sajavaara, T. & Franssila, S., 2011, julkaisussa : Journal of Micromechanics and Microengineering. 21, 12, 125003.

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli

  19. Julkaistu

    Self-alignment in the stacking of microchips with mist-induced water droplets

    Chang, B., Sariola, V., Jääskeläinen, M. & Zhou, Q., 2011, julkaisussa : Journal of Micromechanics and Microengineering. 21, 1, s. 11

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli

  20. Julkaistu
  21. 2010
  22. Julkaistu
  23. Julkaistu

    Modelling and validation of air damping in perforated gold and silicon MEMS plates

    De Pasquale, G., Veijola, T. & Somà, A., 2010, julkaisussa : Journal of Micromechanics and Microengineering. 20, 1, s. 015010

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli

  24. Julkaistu

    Nanoperforated silicon membranes fabricated by UV-nanoimprint lithography, deep reactive ion etching and atomic layer deposition

    Sainiemi, L., Viheriälä, J., Sikanen, T., Laukkanen, J. & Niemi, T., 2010, julkaisussa : Journal of Micromechanics and Microengineering. 20, 7, s. 077001

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli

  25. 2009
  26. Julkaistu

    Analysis of vibration modes in a micromechanical square-plate resonator

    Holmgren, O., Kokkonen, K., Veijola, T., Mattila, T., Kaajakari, V., Oja, A., Knuuttila, J. & Kaivola, M., 2009, julkaisussa : Journal of Micromechanics and Microengineering. 19, 1, s. 1-11 11 Sivumäärä, 015028.

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli

  27. Julkaistu

    Microflidic heated gas jet shape analysis by temperature scanning

    Saarela, V., Haapala, M., Kostiainen, R., Kotiaho, T. & Franssila, S., 2009, julkaisussa : Journal of Micromechanics and Microengineering. 19, 5

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli

  28. 2008
  29. Julkaistu

    Atomistic methods for the simulation of evolving surfaces

    Gosalvez, M. A., Xing, Y., Sato, K. & Nieminen, R. M., 2008, julkaisussa : Journal of Micromechanics and Microengineering. 18

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli

  30. 2007
  31. Julkaistu

    An atomistic introduction to anisotropic etching

    Gosálvez, M. A., Sato, K., Foster, A. S., Nieminen, R. M. & Tanaka, H., 2007, julkaisussa : Journal of Micromechanics and Microengineering. 17, 4, s. S1-S26 26 Sivumäärä

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli

  32. Julkaistu

    Atomic laeyr deposited alumina (A12O3) thin films on a high-Q mechanical silicon oscillator

    Hahtela, O., sievilä, P., Chekurov, N. & Tittonen, I., 2007, julkaisussa : Journal of Micromechanics and Microengineering. 17, 4, s. 737-742

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli

  33. Julkaistu
  34. Julkaistu

    Fabrication and characterization of an ultrasensitive acousto-optical cantilever for pressure sensing

    Sievilä, P., Rytkölä, V-P., Hahtela, O., Chekurov, N., Kauppinen, J. & Tittonen, I., 2007, julkaisussa : Journal of Micromechanics and Microengineering. 17, 5, s. 852-859

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli

  35. Julkaistu

    Faster simulations of step bunching during anisotropic etching: formation of zigzag structures on Si(110)

    Gosálvez, M. A., Xing, Y., Hynninen, T., Uwaha, M., Foster, A. S., Nieminen, R. M. & Sato, K., 2007, julkaisussa : Journal of Micromechanics and Microengineering. 17, 4, s. S27-S37 11 Sivumäärä

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli

  36. 2005
  37. Julkaistu

    Extending the Validity of Squeezed-Film Damper Models with Elongations of Surface Dimensions

    Veijola, T., Pursula, A. & Råback, P., 2005, julkaisussa : Journal of Micromechanics and Microengineering. 15, s. 1624-1636

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli

  38. Julkaistu

    Non-tilting out-of-plane mode high-Q-mechanical silicon oscillator

    Hahtela, O., Chekurov, N. & Tittonen, I., 2005, julkaisussa : Journal of Micromechanics and Microengineering. 15, s. 1848-1853

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli

  39. 2004
  40. Julkaistu
  41. 2001
  42. Julkaistu
  43. Julkaistu

    PLASMA ETCHED INITIAL PITS FOR MACROPOROUS SILICON STRUCTURES

    Grigoras, K., Niskanen, A. J. & Franssila, S., 2001, julkaisussa : Journal of Micromechanics and Microengineering. 11, 4, s. 371-375

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli

  44. 1993
  45. Julkaistu

    Microtensile testing of free-standing polysilicon fibers of various grain sizes

    Koskinen, J., Steinwall, J. E., Soave, R. & Johnson, H. H., 1993, julkaisussa : Journal of Micromechanics and Microengineering. 3, 1, s. 13-17 5 Sivumäärä, 004.

    Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli

ID: 308108