OtaNano Nanofab

Laitteistot/tilat: Facility

  • Sijainti

    Tietotie 3

    Micronova

    Espoo

    02150

    Suomi

Tutkimustuotos

Suodatin
Konferenssiesitys
2014

Blistering effect in ALD Al2O3 thin films grown with timethylaluminum and water

Berdova, M., Rontu, V., Sajavaara, T., Eskelinen, A-P. & Franssila, S., 12 toukokuuta 2014.

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaKonferenssiesitysScientific

2015

Growth of few-walled carbon nanotubes from platinum nanoparticle catalysts prepared by atomic layer deposition

Rontu, V., Pitkänen, O., Heikkinen, J., Ge, Y., Kordas, K., Franssila, S. & Tuukkanen, S., 22 kesäkuuta 2015.

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaKonferenssiesitysScientific

2016

Atomic layer deposition of highly doped Er:Al2O3 and Tm:Al2O3 for silicon-based waveguide amplifiers

Rönn, J., Karvonen, L., Pyymaki-Perros, A., Peyghambarian, N. N., Lipsanen, H., Säynätjoki, A. & Sun, Z., 2016, s. 98910Y. 1 Sivumäärä.

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaKonferenssiesitysScientific

Fabrication of superomniphobic nanoserif surfaces

Rontu, V., Hoshian, S., Shah, S., Jokinen, V. & Franssila, S., 21 syyskuuta 2016.

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaKonferenssiesitysScientific

2017

Mechanical properties of ultrathin ALD Al2O3 films

Rontu, V., Hokkanen, A. & Franssila, S., 2017.

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaKonferenssiesitysScientific