OtaNano Nanofab

Laitteistot/tilat: Facility

  • Sijainti

    Tietotie 3

    Micronova

    Espoo

    02150

    Suomi

Tutkimustuotos

Suodatin
Chapter
2010

Electrostatic and RF-Properties of MEMS Structures

Tittonen, I. & Koskenvuori, M., 1 joulukuuta 2010, Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies: Micro and Nano Technologies. Elsevier Inc., s. 221-237 17 Sivumäärä

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaChapterScientificvertaisarvioitu

3 Sitaatiot (Scopus)
2015

Electrostatic and RF-Properties of MEMS Structures

Tittonen, I. & Koskenvuori, M., 1 tammikuuta 2015, Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies: Micro and Nano Technologies. 2 toim. Elsevier Inc., s. 294-312 19 Sivumäärä

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaChapterScientificvertaisarvioitu

2016

Irregular Arrays of Silver Nanoparticles on Multilayer Substrates and Their Optical Properties

Ovchinnikov, V., 30 joulukuuta 2016, Sensors and Applications in Measuring and Automation Control Systems. Yurish, S. Y. (toim.). International Frequency Sensor Association Publishing, s. 25-39 (Advances in Sensors: Reviews; nro 4).

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaChapterScientificvertaisarvioitu

Open access
2017

Thermodynamic-Kinetic method on Microstructural Evolutions in Electronics

Laurila, T., Aloke, P., Dong, H. & Vuorinen, V., 2017, Handbook of Solid State Diffusion: Diffusion Analysis in Material Applications. Aloke, P. & Divinski, S. (toim.). Elsevier, Vuosikerta 2. s. 101-148

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaChapterScientificvertaisarvioitu