Tutkimustuotoksia vuodessa
Tutkimustuotoksia vuodessa
Laitteiden yksityiskohdat
Description
OtaNano – NanoFab on Pohjois-Euroopan suurin mikro- ja nanovalmistukseen tarkoitettu puhdastila, kokonaispinta-alaltaan 2600 m2. Sen linjastot mahdollistavat mikro- ja nanonrakenteiden, kvanttilaitteiden, mikrosysteemien ja mikrofluidististen sirujen, mikro- ja nanosensorien sekä fotoniikan ja optoelektronisten laitteiden valmistuksen. Myös pienen mittakaavan massavalmistus sekä prototyyppien valmistus onnistuvat puhdastiloissa. Laitteet ovat käytettävissä joko itsenäisesti tai palveluna. Turvallisuus- ja peruskoulutukset ovat edellytys laitteiden käytölle. Kursseja järjestetään tarpeen mukaan.
NanoFabin puhdastila ja mittauslaboratoriot mahdollistavat useita eri valmistus- ja mittausprosesseja pääasiassa pii- tai kvartsikiekoille tai -siruille. Puhdastila on jaoteltu alueisiin, joiden puhdastilaluokitus vaihtelee litografia- ja CMOS-alueen ISO4:stä analyysilaboratorion ISO6-luokkaan. Suurin osa puhdastila-alueesta kuuluu luokkaan ISO5. Varsinaisen puhdastilan lisäksi tarjolla on myös erillisiä tiloja esim. mikro-pakkaukselle ja muille ”back-end” prosesseille sekä laboratoriot MOVPE, MBE ja muille ohutkalvoprosesseille.
NanoFabin puhdastila ja mittauslaboratoriot mahdollistavat useita eri valmistus- ja mittausprosesseja pääasiassa pii- tai kvartsikiekoille tai -siruille. Puhdastila on jaoteltu alueisiin, joiden puhdastilaluokitus vaihtelee litografia- ja CMOS-alueen ISO4:stä analyysilaboratorion ISO6-luokkaan. Suurin osa puhdastila-alueesta kuuluu luokkaan ISO5. Varsinaisen puhdastilan lisäksi tarjolla on myös erillisiä tiloja esim. mikro-pakkaukselle ja muille ”back-end” prosesseille sekä laboratoriot MOVPE, MBE ja muille ohutkalvoprosesseille.
Sormenjälki
Tutustu tutkimusalueisiin, joilla tätä laitetta on käytetty. Nämä merkinnät luodaan niihin liittyvien tuotosten perusteella. Yhdessä ne muodostavat ainutlaatuisen sormenjäljen.
Tutkimustuotos
-
Carrier mobility in crystalline germanium at high injection: experimental characterization of carrier-carrier scattering
Garín, M., Gamel, M., Yli-Koski, M., Vähänissi, V., Rivera, G., Savin, H. & Martín, I., 15 tammik. 2026, julkaisussa: Solar Energy Materials and Solar Cells. 295, 114011.Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu
Open accessTiedosto1 Lataukset (Pure) -
Recent advances in piezoelectric resonant infrared detectors
Zhao, J., Hou, H., Dang, Y., Ma, Y., Li, L., Sun, H., Sun, Z. & Xu, T., tammik. 2026, julkaisussa: Infrared Physics and Technology. 152, 106155.Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Review Article › vertaisarvioitu
-
(oral talk) Surface Passivation of Black Germanium for Interdigitated Back Contact Thermophotovoltaic Cell
Gamel, M., Rivera, G., López, G., Terletskaia, M., Liu, H., Vähänissi, V., Savin, H., Garin, M. & Martin, I., 2025.Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Abstract › Scientific › vertaisarvioitu
Tietoaineistot
-
Dataset for "Highly strained Ge nanostructures and direct bandgap transition induced by femtosecond laser"
Liu, X. (Creator), Zenodo, 25 maalisk. 2025
DOI - pysyväislinkki: 10.5281/zenodo.15082447, https://zenodo.org/records/15082448
Tietoaineisto: Dataset
-
Measurement and simulation of optical properties of nanostructured silicon heavily implanted with selenium
Radfar, B. (Creator), Liu, X. (Contributor), Berencen, Y. (Contributor), Shaikh, M. S. (Contributor), Prucnal, S. (Contributor), Kentsch, U. (Contributor), Vähänissi, V. (Contributor), Zhou, S. (Contributor) & Savin, H. (Contributor), Zenodo, 13 toukok. 2024
DOI - pysyväislinkki: 10.5281/zenodo.10522962, https://zenodo.org/records/10522963
Tietoaineisto: Dataset
-
Nanoscale Geometry determines Mechanical Biocompatibility of Vertically Aligned Nanofibers
Rantataro, S. (Creator), Mendeley Data, 27 huhtik. 2022
DOI - pysyväislinkki: 10.17632/8pw5zt94d4.1, https://data.mendeley.com/datasets/8pw5zt94d4
Tietoaineisto: Dataset
Aktiviteetit
-
Surface Passivation of Black Germanium for Interdigitated Back Contact Thermophotovoltaic Cell
Gamel, M. (Puhuja), Rivera, G. (Kontribuuttori), López, G. (Kontribuuttori), Terletskaia, M. (Kontribuuttori), Liu, H. (Kontribuuttori), Vähänissi, V. (Kontribuuttori), Savin, H. (Kontribuuttori), Garin, M. (Kontribuuttori) & Martin, I. (Kontribuuttori)
22 syysk. 2025 → 26 syysk. 2025Aktiviteetti: Konferenssiesitelmä
-
Wide-spectral absorption of femtosecond laser textured germanium
Liu, X. (Puhuja) & Halmela, J. (Kontribuuttori)
14 toukok. 2024 → 16 toukok. 2024Aktiviteetti: Konferenssiesitelmä
-
Hyperdoping germanium with titanium via femtosecond laser processing
Liu, X. (Puhuja), Gnatyuk, D. (Kontribuuttori), Vähänissi, V. (Kontribuuttori) & Savin, H. (Kontribuuttori)
17 syysk. 2024Aktiviteetti: Konferenssiesitelmä
Lehtileikkeet
-
Using laser processed glass as solar concentrators for BIPV
09/04/2025
1 Median myötävaikutus
Lehdistö/media: Esiintyminen mediassa
-
Electron Physics group embraces open data
02/04/2024
1 kohde/ Medianäkyvyys
Lehdistö/media: Esiintyminen mediassa
-
Suomessa käynnistyy kymmenen miljoonan euron kvanttiteknologian tutkimushanke – Business Finland mukana rahoittamassa
18/01/2022
1 kohde/ Medianäkyvyys
Lehdistö/media: Esiintyminen mediassa
Palkinnot
-
35th EU PVSEC 2018 Student Award
Pasanen, T. (Recipient), Savin, H. (Vastuuprofessori) & Vähänissi, V. (Ohjaaja), 28 syysk. 2018
Palkinto: Palkinto tai huomionosoitus tuotoksesta
-
3RD PLACE WINNER AT SCIENCE IN VIDEO (SCIVID) COMPETITION (MRS FALL 2018)
Khayrudinov, V. (Recipient), 28 marrask. 2018
Palkinto: Palkinto tai huomionosoitus tuotoksesta
-
QTF Annual Discovery Prize 2020
Karimi, B. (Recipient), 2020
Palkinto: Palkinto tai huomionosoitus tuotoksesta