OtaNano Nanofab

OtaNano – NanoFab on Pohjois-Euroopan suurin mikro- ja nanovalmistukseen tarkoitettu puhdastila, kokonaispinta-alaltaan 2600 m2. Sen linjastot mahdollistavat mikro- ja nanonrakenteiden, kvanttilaitteiden, mikrosysteemien ja mikrofluidististen sirujen, mikro- ja nanosensorien sekä fotoniikan ja optoelektronisten laitteiden valmistuksen. Myös pienen mittakaavan massavalmistus sekä prototyyppien valmistus onnistuvat puhdastiloissa. Laitteet ovat käytettävissä joko itsenäisesti tai palveluna. Turvallisuus- ja peruskoulutukset ovat edellytys laitteiden käytölle. Kursseja järjestetään tarpeen mukaan.

NanoFabin puhdastila ja mittauslaboratoriot mahdollistavat useita eri valmistus- ja mittausprosesseja pääasiassa pii- tai kvartsikiekoille tai -siruille. Puhdastila on jaoteltu alueisiin, joiden puhdastilaluokitus vaihtelee litografia- ja CMOS-alueen ISO4:stä analyysilaboratorion ISO6-luokkaan. Suurin osa puhdastila-alueesta kuuluu luokkaan ISO5. Varsinaisen puhdastilan lisäksi tarjolla on myös erillisiä tiloja esim. mikro-pakkaukselle ja muille ”back-end” prosesseille sekä laboratoriot MOVPE, MBE ja muille ohutkalvoprosesseille.