Tutkimustuotoksia vuodessa
Tutkimustuotoksia vuodessa
Laitteiden yksityiskohdat
Description
OtaNano – NanoFab on Pohjois-Euroopan suurin mikro- ja nanovalmistukseen tarkoitettu puhdastila, kokonaispinta-alaltaan 2600 m2. Sen linjastot mahdollistavat mikro- ja nanonrakenteiden, kvanttilaitteiden, mikrosysteemien ja mikrofluidististen sirujen, mikro- ja nanosensorien sekä fotoniikan ja optoelektronisten laitteiden valmistuksen. Myös pienen mittakaavan massavalmistus sekä prototyyppien valmistus onnistuvat puhdastiloissa. Laitteet ovat käytettävissä joko itsenäisesti tai palveluna. Turvallisuus- ja peruskoulutukset ovat edellytys laitteiden käytölle. Kursseja järjestetään tarpeen mukaan.
NanoFabin puhdastila ja mittauslaboratoriot mahdollistavat useita eri valmistus- ja mittausprosesseja pääasiassa pii- tai kvartsikiekoille tai -siruille. Puhdastila on jaoteltu alueisiin, joiden puhdastilaluokitus vaihtelee litografia- ja CMOS-alueen ISO4:stä analyysilaboratorion ISO6-luokkaan. Suurin osa puhdastila-alueesta kuuluu luokkaan ISO5. Varsinaisen puhdastilan lisäksi tarjolla on myös erillisiä tiloja esim. mikro-pakkaukselle ja muille ”back-end” prosesseille sekä laboratoriot MOVPE, MBE ja muille ohutkalvoprosesseille.
NanoFabin puhdastila ja mittauslaboratoriot mahdollistavat useita eri valmistus- ja mittausprosesseja pääasiassa pii- tai kvartsikiekoille tai -siruille. Puhdastila on jaoteltu alueisiin, joiden puhdastilaluokitus vaihtelee litografia- ja CMOS-alueen ISO4:stä analyysilaboratorion ISO6-luokkaan. Suurin osa puhdastila-alueesta kuuluu luokkaan ISO5. Varsinaisen puhdastilan lisäksi tarjolla on myös erillisiä tiloja esim. mikro-pakkaukselle ja muille ”back-end” prosesseille sekä laboratoriot MOVPE, MBE ja muille ohutkalvoprosesseille.
×
![]()
Sormenjälki
Tutustu tutkimusalueisiin, joilla tätä laitetta on käytetty. Nämä merkinnät luodaan niihin liittyvien tuotosten perusteella. Yhdessä ne muodostavat ainutlaatuisen sormenjäljen.
-
Achieving low-temperature wafer level bonding with Cu-Sn-In ternary at 150 °C
Golim, O., Vuorinen, V., Ross, G., Wernicke, T., Pawlak, M., Tiwary, N. & Paulasto-Kröckel, M., 1 tammik. 2023, julkaisussa: Scripta Materialia. 222, 3 Sivumäärä, 114998.Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Letter › Scientific › vertaisarvioitu
Open accessTiedosto1 Sitaatiot (Scopus)55 Lataukset (Pure) -
An ultra-sensitive dopamine measurement platform based on molecularly imprinted polymer-carbon hybrid nanomaterials for in vitro use
Nekoueian, K., Akhoundian, M., Wester, N. & Laurila, T., 20 maalisk. 2023, julkaisussa: Electrochimica Acta. 445, 9 Sivumäärä, 142029.Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu
Open accessTiedosto5 Lataukset (Pure) -
Atomic layer deposition of Zr-sandwiched ZnO thin films for transparent thermoelectrics
Koskinen, T., Volin, U., Tossi, C., Raju, R. & Tittonen, I., 15 tammik. 2023, julkaisussa: Nanotechnology. 34, 3, 035401.Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu
Open accessTiedosto39 Lataukset (Pure)
Tietoaineistot
-
Nanoscale Geometry determines Mechanical Biocompatibility of Vertically Aligned Nanofibers
Rantataro, S. (Creator), Mendeley Data, 27 huhtik. 2022
DOI - pysyväislinkki: 10.17632/8pw5zt94d4.1, https://data.mendeley.com/datasets/8pw5zt94d4
Tietoaineisto: Dataset
-
Sub-picosecond thermalization dynamics in condensation of strongly coupled lattice plasmons
Väkeväinen, A. (Creator), Moilanen, A. (Creator), Nečada, M. (Creator), Hakala, T. K. (Creator), Daskalakis, K. (Creator) & Törmä, P. (Creator), 17 kesäk. 2020
DOI - pysyväislinkki: 10.5281/zenodo.3648650
Tietoaineisto: Dataset
-
Data for Bolometer operating at the threshold for circuit quantum electrodynamics
Kokkoniemi, R. (Creator), Girard, J. (Creator), Hazra, D. (Creator), Laitinen, A. (Creator), Govenius, J. (Creator), Lake, R. (Creator), Sallinen, I. (Creator), Vesterinen, V. (Creator), Partanen, M. (Creator), Tan, J. Y. (Creator), Chan, K. W. (Creator), Tan, K. (Creator), Hakonen, P. (Creator) & Möttönen, M. (Creator), 10 elok. 2020
DOI - pysyväislinkki: 10.5281/zenodo.3978027
Tietoaineisto: Dataset
Aktiviteetit
-
Quantum heat transport by microwave photons
Jukka Pekola (Puhuja)
31 elok. 2021Aktiviteetti: Kutsuttu akateeminen esitelmä
-
Nanostructuring process to minimize reflective losses in optoelectronic devices
Päivikki Repo (Puhuja), Toni Pasanen (Kontribuuttori), Ville Vähänissi (Kontribuuttori), Joonas Isometsä (Kontribuuttori), Kexun Chen (Kontribuuttori), Moises Garin (Kontribuuttori) & Hele Savin (Kontribuuttori)
19 kesäk. 2021Aktiviteetti: Konferenssiesitelmä
-
Stochastic thermodynamics in superconducting circuits
Jukka Pekola (Puhuja)
20 toukok. 2021Aktiviteetti: Kutsuttu akateeminen esitelmä