OtaNano Nanofab

Laitteisto/tilat

NanoFabin puhdastila ja mittauslaboratoriot mahdollistavat useita eri valmistus- ja mittausprosesseja pääasiassa pii- tai kvartsikiekoille tai -siruille. Puhdastila on jaoteltu alueisiin, joiden puhdastilaluokitus vaihtelee litografia- ja CMOS-alueen ISO4:stä analyysilaboratorion ISO6-luokkaan. Suurin osa puhdastila-alueesta kuuluu luokkaan ISO5. Varsinaisen puhdastilan lisäksi tarjolla on myös erillisiä tiloja esim. mikro-pakkaukselle ja muille ”back-end” prosesseille sekä laboratoriot MOVPE, MBE ja muille ohutkalvoprosesseille.
    VastuuhenkilöPäivikki Repo
    TutkimustekniikkaMuu
    Verkkosivustohttps://www.aalto.fi/en/otanano/micronova
    Sähköpostinanofab@aalto.fi
    Sijainti
    OsoitetyyppiPostal address
    KatuTietotie 2
    RakennusMicronova
    Postinro02150
    PostitpEspoo
    MaaSuomi

    Saatavilla lainaksi

    Yes -

    ID: 1594807