Structural Data for the Zincone ALD/MLD Hybrid Thin Film Growth Reactions

Mario Mäkinen (Creator)

Tietoaineisto

Description

Dataset containing zincone ALD/MLD hybrid thin film structures modeled using DFT.

Koska saatavilla	2023
Julkaisija	Harvard Dataverse

Dataset Licences

CC-BY-4.0

DOI-pysyväislinkki
10.7910/dvn/wfvehm

Pääsy aineistoon

https://dataverse.harvard.edu/citation?persistentId=doi:10.7910/DVN/WFVEHM

2 Article

Modelling of growth reaction pathways of zincone ALD/MLD hybrid thin films: a DFT study of precursor screening and the diethyl zinc pulse
Mäkinen, M. & Laasonen, K., 15 toukok. 2025, (Sähköinen julkaisu (e-pub) ennen painettua julkistusta) julkaisussa: RSC Advances. 15, 21, s. 16299-16311 13 Sivumäärä
Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

Open access
Tiedosto
5 Sitaatiot (Scopus)

34 Lataukset (Pure)
Modelling the growth reaction pathways of zincone ALD/MLD hybrid thin films: a DFT study
Mäkinen, M., Weckman, T. & Laasonen, K., 28 kesäk. 2024, julkaisussa: Physical Chemistry Chemical Physics. 26, 24, s. 17334-17344 11 Sivumäärä
Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

Open access
Tiedosto
5 Sitaatiot (Scopus)

28 Lataukset (Pure)

Siteeraa tätä

DataSetCite