Effect of atomic layer annealing in plasma-enhanced atomic layer deposition of aluminum nitride on silicon

Lehdistö/media: Esiintyminen mediassa

Aikajakso	11 elok. 2023

Käsittely mediassa

Nimi	Effect of atomic layer annealing in plasma-enhanced atomic layer deposition of aluminum nitride on silicon
Medianimi / kanava	Aaltodoc
Maa/Alue	Suomi
Julkaisupäivämäärä	11/08/2023
URL-osoite	ct.moreover.com/?a=51520865689&p=1gw&v=1&x=zvZK2lPMNqH4nDGFF61v0w
Henkilöt	Markku Sopanen

Julkaisut ja taiteelliset tuotokset
Effect of atomic layer annealing in plasma-enhanced atomic layer deposition of aluminum nitride on silicon
Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu