Surface coverage in ALD

Puurunen, R. (Puhuja)

Aktiviteetti: Julkinen esitelmä

Aikajakso3 heinäkuuta 2019
Tapahtuman otsikkoWorkshop on Fundamentals of Atomic Layer Deposition: Modelling and Validation
Tapahtuman tyyppiWorkshop
SijaintiDelft, Alankomaat