Recent Progress in Thin Film Conformality Analysis with Microscopic Lateral High-aspect-ratio Test Structures

Puurunen, R. (Puhuja)

Aktiviteetti: Julkinen esitelmä

Aikajakso22 lokakuuta 2019
Tapahtuman otsikkoAVS International Symposium and Exhibition
Tapahtuman tyyppiConference
Konferenssinumero66
SijaintiColumbus, Yhdysvallat, Ohio
Tunnustuksen arvoInternational