Passivation of detector-grade Fz-Si with atomic layer deposited aluminium oxide

Aktiviteetti: Konferenssiesitelmä

Aikajakso23 syysk. 2019
Tapahtuman otsikkoConference on Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology
Tapahtuman tyyppiConference
Konferenssinumero18
SijaintiZeuthen, SaksaNäytä kartalla
Tunnustuksen arvoInternational