Novel ALD process based on an organic reductant for in situ deposition of metallic copper thin films

Aktiviteetti: Konferenssiesitelmä

Aikajakso2017
Tapahtuman otsikkoJoint EuroCVD 21 – Baltic ALD 15 Conference
Tapahtuman tyyppiConference
SijaintiLinköping, Ruotsi
Tunnustuksen arvoInternational