Low Temperature Wafer-Level Cu-In-Sn Solid Liquid Interdiffusion Bonding For Low Stress Applications

Ross, G. (Puhuja), Vuorinen, V. (Kontribuuttori), Joseph Hotchkiss (Kontribuuttori), Jani Kaaos (Kontribuuttori), Paulasto-Kröckel, M. (Kontribuuttori)

Aktiviteetti: Konferenssiesitelmä

Description

This work demonstrates low temperature Cu-In-Sn SLID bonds for the application of low temperature wafer-level bonding. The results show microstructural and mechanical behaviour of micro-bumps fabricated at a range of low bonding temperatures.
Aikajakso3 joulukuuta 2019
Tapahtuman otsikkoInternational Conference on Wafer Bonding
Tapahtuman tyyppiConference
SijaintiHalle, Saksa
Tunnustuksen arvoInternational