Low Temperature Wafer-Level Cu-In-Sn Solid Liquid Interdiffusion Bonding For Low Stress Applications

Aktiviteetti: Konferenssiesitelmä

Description

This work demonstrates low temperature Cu-In-Sn SLID bonds for the application of low temperature wafer-level bonding. The results show microstructural and mechanical behaviour of micro-bumps fabricated at a range of low bonding temperatures.
Aikajakso3 jouluk. 2019
Tapahtuman otsikkoInternational Conference on Wafer Bonding
Tapahtuman tyyppiConference
SijaintiHalle, SaksaNäytä kartalla
Tunnustuksen arvoInternational