Investigation of PEALD SiO2 thin films by rf-GDOES

  • Zhen Zhu (Kontribuuttori)
  • Chiara Modanese (Puhuja)
  • Perttu Sippola (Kontribuuttori)
  • Marisa Di Sabatino (Kontribuuttori)
  • Savin, H. (Kontribuuttori)

Aktiviteetti: Konferenssiesitelmä

Aikajakso25 toukok. 2017
Tapahtuman otsikkoEuropean Materials Research Society Spring Meeting
Tapahtuman tyyppiConference
SijaintiStrasbourg, RanskaNäytä kartalla
Tunnustuksen arvoInternational